等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械、汽車制造、航空航天和污染防治等高科技領(lǐng)域。等離子體清洗技術(shù)的關(guān)鍵是低溫等離子體的應(yīng)用。等離子清洗機(jī)主要依靠高溫、高頻和高能等外部條件。它是一種電中性、高能、完全或部分電離的氣態(tài)物質(zhì)。
等離子清洗機(jī)的等離子清洗是一個(gè)干燥的過程。由于電能的催化反應(yīng)，可以提供低溫環(huán)境，消除危險(xiǎn)和濕化學(xué)清洗產(chǎn)生的廢液。它安全、可靠、環(huán)保。簡(jiǎn)而言之，等離子體清洗技術(shù)結(jié)合了等離子體物理、等離子體化學(xué)和氣固界面反應(yīng)，能夠有效去除材料表面殘留的有機(jī)污染物，確保材料的表面和本體性能不受影響。
等離子清洗機(jī)的等離子清洗技術(shù)對(duì)半導(dǎo)體、金屬和大部分高分子材料均都有很好的處理效果，無(wú)論被處理基板的類型如何，都可以實(shí)現(xiàn)整體、局部和復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。該過程易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化和數(shù)字化，并可配備高精度控制裝置、精確控制時(shí)間、記憶功能等。正是因?yàn)榈入x子體清洗工藝具有操作簡(jiǎn)單、精度高、可控性好等明顯的優(yōu)點(diǎn)，才被廣泛應(yīng)用于電子、材料表面改性和活化等諸多行業(yè)。
經(jīng)等離子清洗機(jī)清洗后的材料表面基本無(wú)殘留，通過選擇和匹配不同的等離子清洗類型，可以產(chǎn)生不同的清洗效果，滿足后續(xù)加工工藝對(duì)材料表面特性的各種要求。因?yàn)榈入x子體的方向性不是很強(qiáng)，所以可以方便地清潔具有復(fù)雜結(jié)構(gòu)的物體，例如凹陷、空腔、褶皺等。適用性強(qiáng)。
等離子清洗機(jī)可以處理多種基板，對(duì)清洗對(duì)象要求較低，特別適合清洗耐熱和耐溶劑的基板材料。清洗后無(wú)需干燥或其他工序，無(wú)廢液產(chǎn)生，同時(shí)工作氣體排放無(wú)毒、安全、環(huán)保；等離子清洗機(jī)操作簡(jiǎn)單，易于控制，速度快，對(duì)真空度要求低，也可直接采用常壓等離子清洗工藝。同時(shí)，該工藝避免了大量溶劑的使用，因此成本較低。
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