等離子清洗機，又稱等離子表面處理機，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體達(dá)到傳統(tǒng)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是一種物質(zhì)狀態(tài)，也稱為物質(zhì)的第四種狀態(tài)，不屬于普通的固-液-氣三種狀態(tài)。對氣體施加足夠的能量使其電離，就變成了等離子體狀態(tài)。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、原子、活性基團、受激核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機利用這些活性成分的特性對樣品表面進行處理，從而實現(xiàn)清洗、涂覆等目的。
等離子清洗機通過射頻電源在一定壓力下產(chǎn)生高能無序等離子體，用等離子體轟擊待清洗產(chǎn)品的表面進行表面清洗，從而達(dá)到清洗的目的。表面活化(Surface activation)是指用等離子清洗機處理過的物體，它增強表面能、親水性、附著力和附著力。
等離子清洗機的表面蝕刻通過材料表面上的反應(yīng)氣體等離子體選擇性地蝕刻。蝕刻后的材料轉(zhuǎn)化為氣相，并通過真空泵排出。處理后材料的微比表面積增加，親水性好。納米涂層經(jīng)等離子清洗機處理后，等離子引發(fā)聚合形成納米涂層。各類材料通過表面涂層，實現(xiàn)疏水性（疏水）、 親水性（親水）、疏脂性（防脂）、疏油性（防油）。
等離子清洗機對懸浮粒子/有機發(fā)光二極管(TSP/OLED)和懸浮粒子(TSP)的清洗功能:清洗觸摸屏的主要工序，提高OCA/OCR、層壓、ACF、AR/AF鍍膜等工序的附著力/鍍膜力。為了去除氣泡/異物，可以通過施加各種大氣壓等離子體形式來處理各種玻璃和薄膜表面而不會損壞。半導(dǎo)體/發(fā)光二極管使用等離子清洗機是為了更好地保護產(chǎn)品，并通過等離子清洗機去除表面有機物和雜質(zhì)，而不損害晶圓表面的性能。
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