等離子清洗機(jī)技術(shù)特點(diǎn)是:它不分處理對(duì)象,能夠處理不同的基材,不論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、據(jù)四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物)都能用等離子體很好地進(jìn)行處理,因此,等離子清洗機(jī)特別適合不耐熱和不耐溶劑的基底材料。等離子清洗機(jī)還能夠選擇性的對(duì)材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗。
等離子清洗機(jī)整個(gè)清洗流程如下:
1、被清洗的工件送入真空式并加以固定,啟動(dòng)運(yùn)行裝置,開始排氣,使真空室內(nèi)的真空程度達(dá)到10Pa左右的標(biāo)準(zhǔn)真空度。通常排氣時(shí)間大約需要幾分鐘。

2、向真空室內(nèi)引入等離子清洗用的氣體,并保持腔內(nèi)壓強(qiáng)穩(wěn)定。按照等離子清洗機(jī)清洗材質(zhì)的不同,可分別使用氧氣、氬氣、氫氣、氮?dú)狻⑺姆嫉葰怏w。
3、在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體被擊穿,等離子清洗機(jī)通過放電而發(fā)生等離子化和產(chǎn)生等離子體,讓在真空室產(chǎn)生的等離子體完全籠罩住被處理工件,等離子清洗機(jī)開始清洗作業(yè),通常清洗處理持續(xù)幾十秒到幾十分鐘不等。
4、清洗完畢后切斷等離子清洗機(jī)電源,并通過真空泵將氣體和氣化的污垢抽走排出。
上述就是等離子清洗機(jī)的清洗流程與技術(shù)特點(diǎn)希望能夠?qū)δ兴鶐椭绻阆胍私飧嚓P(guān)于
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