【奧坤鑫 OKSUN】什么是等離子清洗機?
等離子清洗機(Plasma Cleaner)也叫等離子清洗機、等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術，利用等離子體達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。
等離子清洗屬于干法清洗，采用氣相化學法去除材料表面污染物。氣相化學法主要有熱氧化法和等離子清洗法等，清洗過程就是將熱化學氣體或等離子態(tài)反應氣體導入反應室，反應氣體與晶片表面發(fā)生化學反應生成易揮發(fā)性反應產物被真空抽去。
【真空等離子設備】等離子體基礎知識：
等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質的一種狀態(tài)，也叫做物質的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。
等離子體的"活性"組分包括：離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗器就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等目的。【卷對卷等離子處理設備】
